- 产品描述
低压气动隔膜阀
阀体
SUS316L VAR不锈钢双重熔炼材料，用于超高纯应用。
内表面粗糙度可达Ra 5 μin，完全可清扫流道:
截流区Z小化;
便于吹扫;
流量Z大化。
隔膜
钴基超级合金(UNS R30003)材料可提供高强度和耐腐蚀性能。
Z优设计,使用寿命长。
阀座
全封闭式阀座设计具有以下优点:
优秀的抗膨胀和防污染能力;
改进的氦气泄露测试性能;
极少生产颗粒;
使用寿命长。
高清洁的组装和包装适用于高纯洁度半导体产业。
每一个产品出厂都经过氦气测试。
技术数据
| 主要规格 | ||||
| 端接规格 | 1/4" | 3/8,1/2" | 3/4" | |
| 流量系数(Cv) | 0.27 | 0.7 | 1.7 | |
| Z高使用压力 | 300pisg(20.6bar) | |||
| 工作温度 | PCTFE | -40°C-80°C(-40° F-176° F) | ||
| PEA, Vespel | -26°C-177°C(-15° F-350° F) | |||
| 阀体内漏率 | 1x10⁻⁹ sccs He | |||
| 阀体外漏率 | 1x10⁻⁹ sccs He | |||
| 产品等级 | |||
| 等级 | BA | EP | SEP |
| 阀体材质 | SS316L | SS 316LVAR | |
| 内表面粗糙度 | Ra 10 μ in | Ra 5 μ in | |
| 研磨 | 机械研磨加工 | 电解研磨加工 | |
| 清洗 | 脱脂清洗+精密清洗 | ||
| 包装 | 单层 | 双层 | |
| 产品材质 | |
| 阀体 | SS 316L/A479, SS316L / VAR/SEMIF20-0305 |
| 隔膜 | 钴基超级合金/ UNS R30003 |
| 阀座 | PCTFE, PFA,Vespel |
编码规则
